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離子束刻蝕機(jī)（IBE）

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離子束刻蝕機(jī)（IBE）

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項(xiàng)目介紹

通過離子束直接對材料進(jìn)行轟擊刻蝕，或通過刻蝕將曝光形成的光刻膠圖形轉(zhuǎn)移至金屬、介質(zhì)、半導(dǎo)體晶圓

樣品要求

1、適用于的樣品尺寸：最大適合晶圓尺寸8英寸

2、離子源為考夫曼離子源

3、極限真空：≤9.0×10-5 Pa

4、刻蝕不均勻性: ≤±5%干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污

項(xiàng)目案例

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