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項(xiàng)目介紹

電子束光刻（EBL）是一種利用高能電子束在電子抗蝕劑表面進(jìn)行納米級(jí)圖形直寫的加工技術(shù)，其核心原理是通過電子束與材料的相互作用實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的精確加工。

電子束由電子槍發(fā)射，經(jīng)電磁透鏡聚焦后，在真空環(huán)境中掃描至涂有電子敏感光刻膠（如PMMA、HSQ）的基片表面。電子束與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（如分子鏈斷裂或交聯(lián)），改變其在顯影液中的溶解度，最終形成所需圖形

樣品要求

1、適用于2英寸及以下尺寸的樣品，樣品高度小于2 mm，直徑小于2英寸。

2、干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污，無磁性。

項(xiàng)目案例

各種金以及光柵結(jié)構(gòu)加工案例圖

溝道結(jié)構(gòu)加工圖

常見問題
1、有哪些光刻技術(shù)？

光刻技術(shù)包括：光刻蝕（Photolithography）、電子束光刻（Electron Beam Lithography，EBL）、X射線光刻（X-ray Lithography）、極紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography，EUV）、納米壓印光刻（Nanoimprint Lithography，NIL）、掃描探針光刻（Scanning Probe Lithography，SPL）


2、為什么EBL不用于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)？

EBL沒有在工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)中使用，因?yàn)樗且粋€(gè)緩慢且昂貴的過程，不適合大規(guī)模制造。此外，與其它光刻技術(shù)如光刻蝕相比，它具有有限的吞吐量和擴(kuò)展性。

3、與光刻法的分辨率相比，EBL的分辨率有何限制？

EBL的分辨率受到電子束尺寸、鄰近效應(yīng)和背散射等因素的限制，而光刻蝕的分辨率受到光源波長(zhǎng)和衍射效應(yīng)的限制。雖然EBL通常提供比光刻蝕更高的分辨率，但它的速度更慢且成本更高。

4、光刻工藝的一般目的？

光刻工藝的總體目標(biāo)是將掩模或計(jì)算機(jī)文件中的圖案以高精度和準(zhǔn)確性轉(zhuǎn)移到涂覆在基板上的光敏材料（光阻劑）上。

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