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納米離子探針（Nano-SIMS）

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納米離子探針（Nano-SIMS）

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項目介紹

Nano-SIMS（Nanoscale Secondary Ion Mass Spectrometry，納米二次離子質(zhì)譜）是一種超高空間分辨率的“化學(xué)＋同位素”成像技術(shù)。它用極細的離子束轟擊樣品表面，濺射出二次離子，再用磁質(zhì)譜對離子進行質(zhì)量分離和計數(shù)，從而給出元素或同位素在納米—亞微米尺度的二維或三維分布圖。

NanoSIMS 50L 在高橫向分辨率下優(yōu)化了SIMS分析性能。該儀器的開發(fā)借鑒了離子束和二次離子提取的同軸光學(xué)設(shè)計以及具有多接收功能的原始扇形磁質(zhì)量分析儀。

NanoSIMS 50L能同時提供以下關(guān)鍵性能：

1. 高分析空間分辨率（低至50納米）

2. 高靈敏度（元素成像中的ppm）

3. 高質(zhì)量分辨率（M/dM）

4. 并行采集七種不同質(zhì)荷比離子

5. 快速采集（直流模式，不發(fā)生脈沖）

6. 能夠分析電絕緣樣品經(jīng)過改良，現(xiàn)在可實現(xiàn)千分之十幾的同位素比值再現(xiàn)性。

樣品要求

1. 一般要求樣品無磁性，無法測試磁性樣品；

2. 支持多種樣品尺寸，具體請聯(lián)系技術(shù)負責(zé)人；

3. 適合微區(qū)元素（Li~U）成像和黃鐵礦的S同位素測試；

4.兩個可切換的高強度一次離子源：Cs+ 和O-/O2+ 。

項目案例
常見問題
1、離子后面帶的正或者負符號，為什么都是正一價或負一價？

離子帶正或負的符號只是代表正離子或者負離子，與價態(tài)無關(guān)。

2、在TOF-SIMS測試中，如果需要同時測試正負離子，那么需要分別使用不同的樣品進行測試嗎？可以在同一個樣品上選取不同的區(qū)域進行測試嗎？

如果是測試質(zhì)譜和二維成像，因為沒有損傷，可以選取同一個位置進行測試，且采集完正離子后可以繼續(xù)采集負離子信息；如果是做深度分析，則可以在同一個樣品上選取不同的區(qū)域，分別測試正離子和負離子。

3、TOF-SIMS可以測離子含量嗎？

不能。TOF-SIMS靜態(tài)二次離子質(zhì)譜測試離子強度，為定性測試，不能定量。

4、TOF-SIMS中，質(zhì)譜測試濺射厚度是多深？

一般濺射厚度為2到3層原子，小于1nm。

納米離子探針（Nano-SIMS）

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