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薄膜應(yīng)力測試儀

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薄膜應(yīng)力測試儀

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項目介紹

激光曲率法，基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進的激光掃描方式和探測技術(shù)，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜應(yīng)力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測量。

樣品要求

1、樣品尺寸最大12英寸，向下兼容10、8、6、 4、 3、 2、 1英寸

2、薄膜厚度目前沒有明顯要求（一般說的薄膜或者晶圓，厚度都是微米級~幾個mm以內(nèi)）

3、需要提供薄膜的厚度值，作為評估和測試的參考

4、測試一般分為兩個步驟，先測一次沒有鍍膜的空白基底材料的曲率情況，鍍膜完成后再測一次鍍膜后引起的曲率變化，兩者相減，計算得到薄膜應(yīng)力。因此最好是鍍膜前后分別送樣測試，可以得到準確的應(yīng)力結(jié)果，如果一次性提供一片空白基底以及鍍膜以后的一片樣品一起測試，也可得到相關(guān)數(shù)值，但是結(jié)果準確度會有降低

項目案例

6英寸硅晶圓襯底弓高翹曲曲線

6英寸硅晶圓襯底表面3D形貌

TiN金屬薄膜表面3D形貌

3D輪廓

曲率/應(yīng)力分布

弓高/翹曲度

薄膜應(yīng)力測試儀

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