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亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)(O-PTIR)

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亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)(O-PTIR)

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項目介紹

亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)是一種多模態(tài)顯微分析平臺,通過整合紅外光譜(IR)、拉曼光譜和熒光光譜技術(shù),在亞微米尺度(<1 μm)實現(xiàn)樣品的化學、結(jié)構(gòu)和功能表征。其核心原理是利用近場光學技術(shù)(如s-SNOM或O-PTIR)突破紅外衍射極限,結(jié)合共聚焦拉曼顯微(~300 nm)和超分辨熒光成像(如STED/PALM,分辨率<50 nm),同步或交替獲取分子振動信息(IR/Raman)與特定分子分布(熒光)。系統(tǒng)通過共享光學路徑、時序分離激發(fā)和光譜濾波解決信號串擾,最終將多模態(tài)數(shù)據(jù)空間配準,提供官能團分布、分子結(jié)構(gòu)及生物標記物的共定位分析,廣泛應(yīng)用于材料、生物及納米科技領(lǐng)域。

樣品要求

1、常規(guī)樣品要求:待測無特征尺寸>500nm,厚度>500nm,無毒,無有機揮發(fā)物質(zhì)

2、樣品表面平整度要求:單點采譜對平整度無要求,單波數(shù)成像一般小于5μm最佳;

3、目前拉曼激發(fā)波長可選532nm或者785nm

其他具體要求可具體溝通

項目案例

半導體失效以及污染測試實例

O-PTIR檢測玻璃基板(TGV型)上的粘合劑殘留

微電子器件截面污染物

底部填充料污染分析

亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)(O-PTIR)

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